半导体量测软件
线扫条形光源FL-HLB
微型线扫条光FL-HLBS
线扫同轴光源FL-HLCOX
AOI光源FL-AOI
2.5D分区光源FL-RX
环形高角度光源FL-R
环形低角度光源FL-R
环形高亮光源FL-RH
面光源(底部发光型)FL-S
面光源(侧面导光型)FL-SLG
平行面光源FL-SP/SLGP
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